EDWARDS發布用于LED和化合物半導體制造的新型真空泵
7月3日，英國西薩塞克斯郡，克勞雷全球領先的高精真空設備和尾氣處理系統制造商及相應增值服務供應商Edwards公司宣布推出新的iXH645H干 泵，新設備經過優化，適用于LED制造中使用的MOCVD工藝，以及在柵堆疊(gate stack)中使用III-V材料的化合物半導體制造工藝。
iXH645H提供了非常高的氣流量，并能夠在最新一代LED制造設備所需的高負載下連續工作。iXH系列干泵采用先進的技術，最大限度地減少了維護需求，并實現正常運行時間最大化，有助于降低成本。
LED和化合物半導體制造工藝通常使用大流量氕氣和高腐蝕性氨氣。iXH645H業已進行設計優化以滿足這些要求，具有出色的氫氣抽空性能并采用耐腐蝕設 計，包括一個保護泵密封物的專利氮氣吹掃屏障(purge barrier)。XH645泵具有高溫工作能力，有助于防止可能出現的磷化合物冷凝。
另外，iXH645H干泵先進的油潤滑和密封技術省去了定期保養需求，同時其散熱和電機設計可以防止出現過熱、電機過載或工作區域受限等問題。iXH645H泵的優化溫度控制系統確保泵在約30分鐘啟動時間內為工藝做好準備。
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