我國MOCVD設備有望率先告別“進口依賴”?
核心設備及部分原材料依賴進口、外延芯片缺乏核心專利、測試方法及設備支撐不足……一直以來,我國半導體照明產業與國際先進水平存在諸多差距。而作為LED芯片生產核心設備,MOCVD設備有望率先告別“進口依賴”。
近年來,憑借高效節能、綠色環保等特點,LED產業在國內獲得快速發展。據科技部發布的《半導體照明科技發展“十二五”專項規劃》,到2015年,LED產業規模預計將達到5000億元。
而作為生產LED芯片的關鍵設備,我國MOCVD設備近年絕大部分依賴進口,市場被歐美企業壟斷。
數據顯示,MOCVD設備采購近兩年出現“瘋狂”增長,2010年前中國大陸MOCVD總裝機量只有150臺左右,2010年年底增至350臺,2011年年底更是達到近700臺。而有統計顯示,截至2012年11月底,國內量產MOCVD設備數量已達到909臺。
專業研究機構SEMI中國資深分析師兼LED項目經理戚發鑫告訴記者,近兩年中國大陸的MOCVD設備增速已位居全球首位,同時也成為全球兩大MOCVD設備企業AIXTRON(愛思強)和VEECO(維易科)的最大收入來源。
在業內人士看來,量產型MOCVD依靠進口,嚴重制約著國內LED產業的自主化發展。據介紹,一臺進口MOCVD設備的售價目前約為1500萬元左右。
為打破國內LED產業受制于人的局面,科技部發布的《半導體照明科技發展“十二五”專項規劃》明確提出,“十二五”期間將“實現大型MOCVD設備及關鍵配套材料的國產化”。
遵循這一發展思路,從2011年開始,國內包括思捷愛普、理想能源等在內的多家LED設備企業開始嘗試推出國產化MOCVD設備。截至2012年年底,國內已有近20家企業和科研團隊宣布涉足MOCVD設備技術研發。
業內認為,MOCVD設備國產化成功,意味著長期由國外壟斷的技術將被打破,國內眾多LED企業將告別對國外產品的完全依賴,縮短和世界的差距,國內LED自主產業生態鏈也將更加完善。
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