超細碳化鎢粉研究工藝

【中鎢在線新聞網-鎢新聞】

難熔金屬鎢合金具有一系列優良的物理性能，在包括半導體制造業在內的諸多產業中有著廣泛的應用。超細鎢粉、碳化鎢粉以及超細鎢復合粉末是制備高質量鎢基電觸頭材料、電子封裝材料、集成電路難熔柵和阻擋層的濺射靶材、電子發射材料等的主要原料。超細鎢粉、碳化鎢粉等的質量直接影響著這些鎢基電子材料產品的最終性能，因此如何以較低成本高效地生產出優質超細鎢粉、碳化鎢粉對半導體制造產業有著重要的意義。

制備超細碳化鎢粉實際上是超細鎢粉的碳化過程。鎢粉的粒度和粒度組成是影響碳化鎢粉粒度和粒度組成的最主要因素。由于碳化過程主要是靠鎢粉顆粒表面與含碳氣體反應以及固體炭黑向鎢粉內部擴散來實現的，因此，碳化溫度、碳化時間、物料碳含量等對碳化鎢粉末粒度的影響相對較小。通過實驗反復驗證制定了制備碳化鎢粉的工藝制度，并制備出了粒度均勻的超細碳化鎢粉。  超細鎢粉、碳化鎢粉存在分散性、均勻性差等問題。采用氣流粉碎分級技術可以在很大程度上消除粉末的團聚現象，并且可以使粉末進一步細化、粒度分布合理。采用氣流粉碎分級設備進行處理生產效率高、能耗小，并且操作簡單，容易控制。制備的超細顆粒粉末分散性、均勻性大大提高，粒度組成得到明顯改善；降低生產過程控制難度，徹底解決傳統生產過程中的球磨、過篩難度大的問題，大大提高生產效率，縮短了生產周期。

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