藍寶石長晶技術簡介
【中鎢在線新聞網-鎢新聞】
藍寶石長晶技術由美國、日本與俄羅斯掌握,其中美國與日本對長晶技術嚴密封鎖,其它國家難以取得關鍵技術,因此臺灣與中國廠商的藍寶石長晶技術基本主要來自俄羅斯。
就技術別來看,美國Rubicon(RBCNUS)采用ES2技術,在2009年公司宣布成功生長出“世界上最大的藍寶石晶體”,重量高達200kg,可用以切出12吋藍寶石基板,Rubicon宣稱ES2技術產品缺陷率低于其它技術,美國CrystalSystems則采HEM熱交換法,日本廠商則多以拉晶法(CzochralskiMethod,CZ法)與導模法為主(Edge-definedFilm-fedGrowth;EFG法),俄羅斯以KY法(KyropulosMethod;又稱泡生法)為主,臺灣與中國廠商長晶技術主要源于俄羅斯KY法,俄羅斯長晶技術轉讓費低,規模化生產后成本仍具吸引力。
目前藍寶石基板仍多以CZ法與KY法為主流,藍寶石基板以2-4吋為主,基于成本因素與設備廠商開發進程,預估短期轉至6-8吋機率仍較低。
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