與六氯化鎢（WCl6）一樣，六氟化鎢也是由過渡金屬鎢元素和鹵族元素組成的一種化合物，均具有良好的物理化學性質，廣泛應用于化工領域。但是，二者在外觀、性質、生產方法和具體用途上存在較大區別，例如，六氯化鎢是一種帶有藍紫色的黑色結晶，而六氟化鎢在常溫常壓下為淡黃色液體，其固態為易潮解的無色結晶，氣態為無色。注：鹵族元素是指周期表中的ⅦA族元素，包括氟、氯、溴、碘、砹等；其中氟位于第二周期VII族，比氯元素活潑，而氯位于第三周期VII族。
六氟化鎢結構圖
從化學成分上看，六氟化鎢是由1個鎢原子和6個氟元素組成的一種無機物，英文名為Tungsten Hexafluoride或Tungsten Fluoride，化學式為WF6，分子量為297.92，CAS號為7783-82-6，EINECS登錄號為232-029-1。
理化性質方面，六氟化鎢的外觀為淡黃色液體、無色晶體或無色氣體，空氣中不燃燒，熔點約2.5℃，沸點約17.5℃，液體密度約3441kg/m3，氣體密度約12.7kg/m3，相對密度約9.96kg/m3，臨界溫度約169.8℃，臨界壓力約4265.8kPa，臨界密度約 1310kg/m3，壓縮系數（50℃，10kPa）約0.997，蒸氣壓（-20℃）約14.186kPa，蒸發熱約87.9745kJ/kg，升化熱約122.5459kJ/kg。
六氟化鎢圖片
另外，六氟化鎢還可溶于大多數有機溶劑，并使它們著色（苯、環己烷為紅色，乙醚為褐紫色，乙醇為無色，等等），還具有較強的吸濕性、氧化性和腐蝕性，能腐蝕除金和鉑外的所有金屬以及潮濕條件下的玻璃。值得一提的是，WF6的毒性主要是由氟引起的，水解產物氟化氫強烈刺激皮膚、眼和呼吸道粘膜，還損傷肝、腦神經系統以及骨骼和牙齒。
高純六氟化鎢的生產步驟：先將粗WF6進行蒸發，然后將含有揮發性雜質的WF6進行氣相吸附，得到半粗WF6產品，最后將半粗WF6送入UHP氣體鼓泡系統，除去揮發性雜質，即可得到所需要的產品
六氟化鎢主要用途：WF6是一種強氟化劑，可用于氣相沉積法制鎢膜；在微電子工業中用作化學氣相淀積硅化鎢或鎢，以制作低電阻、 高熔點的互連線。
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