鈰摻雜鎢酸鋇鎂發光薄膜是一種重要的光電功能材料，因具有較高的發光效率，而廣泛應用于電致發光器件中。該發光薄膜的發光性能除了受鈰、鋇和鎂含量的影響之外，還受生產工藝及工藝參數的影響。由于當前生產技術欠佳，導致所制成的該發光薄膜的發光效率較低，而且操作復雜，成本高。
鎢酸鋇鎂發光薄膜圖片
為了彌補鈰摻雜鎢酸鋇鎂發光薄膜現有生產技術的不足，專利號為CN103534332B的研究者提出了一種新的生產方法，具體操作如下：將氧化鎂（Mg0）、氧化鋇（Ba0）、三氧化鎢（WO3）及三氧化二鈰（Ce203）混合，燒結形成濺射靶材；進行磁控濺射，形成鈰摻雜鎢酸鋇鎂發光薄膜前體；將該鈰摻雜鎢酸鋇鎂發光薄膜前體進行退火處理，得到鈰摻雜鎢酸鋇鎂發光薄膜。
鎢酸鋇圖片
該生產技術的注意事項包括：1）氧化鎂的質量百分含量為0.2%~10%，氧化鋇的質量百分含量為0.2%~30%、三氧化二鈰的質量百分含量為0.02%~0.6%，余量為三氧化鎢；2）燒結步驟中溫度為900~1300℃；3）濺射步驟條件為：襯底和靶材距離為50~100mm、襯底溫度為 250℃~750℃、氫氣和惰性氣體混合氣體為工作氣體，氣體流量15~30sccm、壓強0.2~4.5Pa；4）退火的溫度為500C~800℃，時間為1-3小時。
利用該生產技術制備的鈰摻雜鎢酸鋇鎂發光薄膜具有較好的發光性能，在紅光區和藍光區有較強的發光峰；該方法具有操作簡單、成本低廉，適于工業化生產的優點。
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