新型酸性鉬鋁鉬蝕刻液以及其制備工藝
【中鎢在線新聞網-鎢新聞】
本發明公開了一種新型酸性鉬鋁鉬蝕刻液以及其制備工藝。該新型酸性鉬鋁鉬蝕刻液包括磷酸、醋酸、硝酸、金屬硝酸鹽、陽離子表面活性劑和純水。該蝕刻液制備工藝包括常溫常壓下保持配料罐攪拌器轉速，向配料罐中依次加入磷酸、醋酸、硝酸、硝酸鉀、純水和陽離子表面活性劑，充分攪拌后通入過濾器過濾制成鉬鋁鉬蝕刻液。
本發明中的鉬鋁鉬蝕刻液顆粒度小，純度高，對不同金屬的蝕刻速度基本一致，反應穩定；調整硝酸的濃度，使蝕刻速度可控；使用該蝕刻液蝕刻后的基板表面整潔，無殘留，無金屬間分層現象，剩余線條平整，蝕刻角度保持在40～60°之間。
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