電化學拋光
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硫酸-磷酸-鉻酸體系為電解液,對鉬片進行電化學拋光。通過測定陰極極化曲線,研究了拋光過程中電壓和電流之間的關(guān)系。表征了拋光前后鉬片的微觀形貌、粗糙度和尺寸等。在2.0 A/cm~2下對鉬片電化學拋光30 s,可得到均勻平整、無明顯坑點的表面,粗糙度由拋光前的0.20μm降至0.05μm。通過嚴格控制拋光時間可有效保證樣品的幾何尺寸精度。
金屬鉬具有良好的導熱性和導電性,在高溫下仍有很高的力學性能,因此鉬材料在微電子技術(shù)、電真空技術(shù)、國防工業(yè)方面有著廣泛應(yīng)用。隨著科學技術(shù)的發(fā)展,具有高表面質(zhì)量的鉬材料越來越受重視,但由于鉬材料室溫強度差、韌性差,采用傳統(tǒng)機械拋光對其進行表面處理時容易產(chǎn)生。
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