硅片和鉬片焊接的方法
【中鎢在線新聞網-鎢新聞】
本發明公開了一種半導體器件中硅片和鉬片焊接的方法,所述方法包括以下步驟:a.在鉬片上設置第一銀層;b.在硅片的陽極上設置第二銀層;c.將第三銀層設置于第一銀層和第二銀層之間;d.通過第一銀層、第二銀層和第三銀層的焊接,從而將硅片與鉬片焊接在一起。該方法工藝簡單,成品率高,焊接強度高、焊接層空洞率低,變形量小,可大大的提高產品的性能。本發明還涉及上述方法制得的硅片/鉬片焊接產品的應用。
應該理解到的是:上述實施例只是對本發明的說明,任何不超出本發明實質精神范圍內的發明創造,均落入本發明的保護范圍之內。
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