モリブデン配合WO3大面積エレクトロクロミックガラスは現(xiàn)代建築の省エネの新しい解決策である。その中で、モリブデン添加酸化タングステンエレクトロクロミック薄膜はエレクトロクロミック窓を組み立てる重要なエレクトロクロミック層材料として、マグネトロンスパッタリング法によって製造することができる。具體的なスパッタリング手順は以下の通りである：
詳細(xì)については、
http://www.tungsten-powder.com/korean/tungsten-oxide.html
クリーニングしたFTO導(dǎo)電性ガラスを?qū)щ娒妞舷颏违去欹い酥盲?Mテープで固定した。FTO導(dǎo)電性ガラスを取り付けたトレイをターゲットとともに真空反応室に置き、スパッタリングを開始した。まず、大気狀態(tài)でスパッタ室を真空引きし、スパッタ室の真空度が10^-1Paになるようにした。ガスをスパッタ室に充填し、Ar2は作動(dòng)ガス、O2は反応ガスとして使用し、ガス流量調(diào)整つまみによって吸気量を所望の値に調(diào)整した。純アルゴンガスを用いて10分間予備スパッタリングし、ターゲット表面の汚染物を除去し、予備スパッタリング後にスパッタリングを開始した。直流スパッタリングにより酸化タングステンエレクトロクロミック薄膜を製造した。その中、スパッタリング技術(shù)のパラメータは以下の通りである：スパッタリングターゲットはモリブデン添加酸化タングステンターゲットである、基板はFTO導(dǎo)電性ガラスである、作動(dòng)ガスはAr2、Ar2ガス流量は70sccm、反応ガスはO2である、O2ガス流量は1?4sccm、基板溫度は室溫、スパッタガス圧力は2.4Pa、スパッタ出力は60W、スパッタ時(shí)間は0.5h、動(dòng)作電圧は300V、動(dòng)作電流は0.2Aである。
