三酸化タングステン薄膜は、エレクトロクロミック層として機能する全固體のスマート窓を組み立てるために使用することができる。ある専門家はWO 3薄膜の光學性能を研究し、その中で、全固體エレクトロクロミック窓の著色狀態と漂白狀態の透過スペクトル曲線は下図のように、動作電圧は±3.5 Vである。
詳細については、次のページを參照してください。
http://tungsten-oxide.com/japanese/index.html
専門家によると、図から分かるように、器用な窓は可視光透過率に対して一定の調節能力を持っているが、漂白狀態の時の透過率は低く、主な原因は最後の層のITO膜の透過率が高くないことである。InSn合金ターゲット直流マグネトロンスパッタリングを用いてITO膜を堆積する場合、高い透過率と電気伝導率を得るために、堆積したITO膜を高溫熱処理するのが一般的である。しかし、WO 3とNiO膜は高溫熱処理されるとエレクトロクロミック性能が損なわれる。したがって、全固體精巧窓裝置の製造において、最後のITO膜は熱処理されていない。また、現在、ITOセラミックターゲットを用いてアニール処理を必要とせずにITO膜を製造する技術を習得している専門家がいるため、この新しいITO膜を製造する技術を採用した後、より性能の優れた全固體型の器用窓裝置の製造が期待されている。
