黃色酸化タングステンナノワイヤは、ガスセンサを準(zhǔn)備するためにしばしば使用されるように優(yōu)れたガス感度を有する。専門家によると、黃色の酸化タングステンナノワイヤおよびシリコンナノワイヤを組み合わせて、シリコンナノワイヤ?酸化タングステンナノワイヤ複合構(gòu)造を得ることができ、その界面が均一なヘテロ接合を形成する。no 2ガス中では，ヘテロ接合の空乏層の幅の増加はガス感知性能の向上に重要な効果を持つ。
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http://www.tungsten-carbide.com.cn/Japanese/index.html
シリコンナノワイヤの調(diào)製—酸化タングステンナノワイヤ複合構(gòu)造
いくつかの専門家は、n型単結(jié)晶シリコンウエハ上に高度に配列されたアレイを有するシリコンナノワイヤを準(zhǔn)備するために、金屬支援化學(xué)エッチングとナノ球自己集合の組み合わせを使用する。続いて、マグネトロンスパッタリング法によりシリコンナノワイヤ表面に金屬タングステン膜を堆積し、管爐內(nèi)で熱処理を行うことによりシリコンナノワイヤ?酸化タングステンナノワイヤ複合構(gòu)造を作製した。
