高純鎢粉是指純度至少在99.99%以上的鎢粉,可用于特殊耐高溫器件、超大規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體型晶體管中。
化學(xué)成份
高純鎢粉的鎢元素含量可以是99.99%~99.999%,各種雜質(zhì)元素含量總和應(yīng)控制在(0.1~1000)×10-12之間。
制品
高純鎢條、鎢棒、鎢電極、鎢絲,高純鎢片、鎢板,純鎢及鎢鈦濺鍍靶材等。
用途
1. 可制作有著特殊要求的耐高溫器件;
2. 用于精密合金鑄造領(lǐng)域的純鎢元素添加;
3. 高純鎢粉及其硅化物可用于超大規(guī)模集成電路作為電阻層、擴(kuò)散阻擋層等;
4. 在金屬氧化物半導(dǎo)體型晶體管中作為門材料及連接材料等。
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