光學級三氧化鎢是一種粒度可以達到光學級別(10-8數量級)的淡黃色粉末,純度可以達到99.99%,遇熱則變為深橙色,遇冷時恢復原色。
用溶膠-凝膠法和直流反應磁控濺射法制備了表面均勻致密的三氧化鎢薄膜,并用雙光束紫外可見分光光度計和X衍射分別對薄膜的透光性、結構形態進行了測定,觀察退火溫度對薄膜透光性和結構形態的影響,結果表明:
1.在高溫(溫度高于300℃)退火處理后,薄膜的透光率下降,且退火溫度越高,其透光率越低。
2.在350℃以下退火處理后得到薄膜樣品為非晶態。在350~400℃范圍內退火處理,樣品由非晶態向晶態轉變。
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