超純鎢粉是指純度超高的鉬粉,具有顆粒均勻、活性高、比表面積大的優(yōu)異特性,可應(yīng)用于特殊耐高溫器件、超大規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體型晶體管中。
特性
超純鎢粉的顆粒均勻,純度超高,活性高,比表面積大,經(jīng)鈍化處理后氧含量可控制在1%以下。
應(yīng)用
1. 可制作有著特殊要求的耐高溫器件;
2. 用于精密合金鑄造領(lǐng)域的純鎢元素添加;
3. 超純鎢粉及其硅化物可用于超大規(guī)模集成電路作為電阻層、擴(kuò)散阻擋層等;
4. 在金屬氧化物半導(dǎo)體型晶體管中作為門材料及連接材料等。
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