鎢箔可以通過電解拋光在硫酸甲醇體系中制備得到,用于狀態(tài)方程(EOS)靶等用途。
鎢箔的常用制備方法包括以下兩種方法:
1.沉積法,如蒸發(fā)鍍膜、濺射沉積、脈沖激光氣相沉積等;
2.機械法,如軋制、金剛石車削、機械研磨拋光等。
采用各種沉積方法制備的鎢箔的表面光潔,但膜的密度較低且沉積速率較慢。軋制和機械研磨拋光在制備過程中,在箔膜表面易產(chǎn)生加工硬化層和殘余應(yīng)力,存在嚴(yán)重的結(jié)晶取向和位錯等問題。另外,因為鎢的高硬度和極端脆性使得機械加工仍存在著較大困難。
所以,電解拋光方法為優(yōu)選,此法是基于陽極溶解原理去除金屬,適用于任何硬度的金屬,能夠去除表面硬化、缺陷和沾污問題。
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