旋轉鎢鉬復合靶材在使用過程中的利用率遠大于鎢鉬平面靶材。它可以采用熱等靜壓技術進行生產,所得靶材的密度接近理論密度,其組織均勻性及純度等指標均較優。衡量靶材質量的主要因素有純度、致密度、晶粒尺寸及分布等。
鎢鉬旋轉靶材的制作分為燒結法(輔以鍛造整形或熱等靜壓)、噴涂法和拉拔法。以燒結法生產得到的旋轉靶材可以達到比較好的性能,但長度受到設備的局限較大;采用噴涂法生產旋轉靶材具有長度不受限制的優勢,但在密度、強度和厚度上有瓶頸。而拉拔法生產旋轉靶材在國外較成熟,值得我們借鑒。
中鎢在線科技有限公司可生產不同尺寸的旋轉鎢鉬復合靶材以配合不同型號的磁控濺射設備使用。
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