離子源燈絲也就是用于離子注入機的鎢絲。
離子注入機是VLSI制造工藝的關鍵設備，其運行情況直接影響到IC工藝線的效率。離子注入機的故障率較高，且大部分集中在離子源系統。離子源弧室內燈絲絕緣子在饋入工藝氣體電離后的等離子體、聚合物及濺射產物等環境中，其表面容易沉積一層電離產物和濺射金屬粒子混合覆蓋物，若其結構不合理，在較短的時間內，就會降低陽極電極間的絕緣性，乃至短路。拆修后，燈絲基本上報廢，使用率低，致使整臺設備常常處于維修狀態。所以，離子源的絕緣對注入機相當重要。
離子源作為注入機的束流源，其工作的穩定性在很大程度上決定著引出離子束流的品質。通過合理設計離子源內絕緣子的結構，提高了防濺射粒子沉積物沾污的能力。陽極電源和燈絲電源的工作效率隨工藝時間的增加而降低的情況得到了改善。增強了離子源的電離穩定性，系統的重復性較好，維修次數也明顯減少。
更多內容請訪問：
http://www.tungsten.com.cn/chinese/IG-tungsten-filament.html
