鎢管可以采用化學氣相沉積（CVD）制備得到。CVD技術是制備純鎢制品的重要方法。20世紀80年代末，國外已有采用CVD技術制備高致密度、高純度金屬鎢制品的研究報告。近年來，國內也大量開展了CVD制備鎢涂層的工藝、組織、結構及性能方面的研究。
采用切環測量法及 X 射線應力分析方法對化學氣相沉積制備的鎢管進行測量與分析。結果表明：
1.鎢管沿圓周方向存在殘余壓應力。殘余應力大小隨沉積工藝溫度升高而降低，隨沉積制備鎢管管徑加大而降低。
2.鎢管內存在較大的殘余應力。經退火處理后殘余應力值下降，應力狀態發生變化。
3.鎢管內表面低凹處萌生裂紋，裂紋沿著柱狀晶晶界向鎢管外壁擴展。
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